簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Wei-Chun Cheng".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="氮化鉭"


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    TaN1+x/Si(111)之界面反應研究
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生： 許益豪   指導教授： 鄭偉鈞
    • 摘 要 本研究探討高氮量氮化鉭(TaN1+x)薄膜於矽基材之系統中，TaN1+x/Si界面微結構及反應，研究中採用Si(111) 5英吋晶圓為基板，以濺鍍方式沈積氮化鉭金屬薄膜30 nm，於…
    • 點閱：175  下載：0 
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)

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    Cr/Ta2N/Si(100)之界面反應研究
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生： 林彥佑   指導教授： 鄭偉鈞
    • 摘 要 本研究探討氮化鉭薄膜於鉻/氮化鉭/矽之系統中，其鉻/氮化鉭/矽界面微結構及反應，期望對氮化鉭薄膜於金屬鉻的阻障層作用有更進一步的了解。 研究採用12英吋Si(100)晶圓為基板，以濺…
    • 點閱：194  下載：3 
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